ما هو ترسب الفيلم الرقيق عن طريق التبخر الحراري؟

واحدة من الطرق الشائعة لترسب البخار المادي (PVD) هو التبخر الحراري. هذا شكل من أشكال ترسب الأفلام الرقيقة ، وهي تقنية فراغ لتطبيق الطلاء الموردين لآلة طبقة فراغ التبخر من المواد النقية على سطح الأشياء المختلفة. عادة ما تكون الطلاءات ، التي تسمى أيضًا الأفلام ، في نطاق سمك Angstroms إلى الميكرون ويمكن أن تكون مادة واحدة ، أو يمكن أن تكون مواد متعددة في بنية ذات طبقات.
يمكن أن تكون المواد المراد تطبيقها مع تقنيات التبخر الحراري عناصر ذرية نقية بما في ذلك كل من المعادن وغير المعادن ، أو يمكن أن تكون جزيئات مثل الأكاسيد والنيتريدات. يشار إلى أن الكائن المغطى بالركيزة ، ويمكن أن يكون أيًا من مجموعة واسعة من الأشياء مثل: رقائق أشباه الموصلات أو الخلايا الشمسية أو المكونات البصرية أو العديد من الاحتمالات الأخرى.

ينطوي التبخر الحراري على تسخين مادة صلبة داخل غرفة فراغ عالية ، واتخاذها إلى درجة حرارة تنتج بعض ضغط البخار. داخل الفراغ ، حتى ضغط البخار المنخفض نسبيًا يكفي لرفع سحابة البخار داخل الغرفة. تشكل هذه المادة المتبعة الآن دفق بخار ، يعبر الغرفة ويضرب الركيزة ، والتمسك به كطلاء أو فيلم.
نظرًا لأنه في حالات عمليات التبخر الحراري ، يتم تسخين المادة إلى نقطة الانصهار وهي سائلة ، وعادة ما تكون موجودة في الجزء السفلي من الغرفة ، وغالبًا ما تكون في نوع من بوتقة مستقيمة. يرتفع البخار بعد ذلك فوق هذا المصدر السفلي ، ويتم احتجاز الركائز في التركيبات المناسبة في الجزء العلوي من الغرفة. وهكذا تواجه الأسطح المهدئة المغلفة نحو مواد المصدر الساخنة لتلقي طلاءها.
الخطوات