ما هو مبدأ العمل لطلاء أيون القوس الكاثودي؟

بادئ ذي بدء ، فإن الإبرة المذهلة القوس (الأنود) ذات الإمكانات الإيجابية قريبة من الهدف (الكاثود) مع إمكانات سلبية. عندما تكون المسافة بين الأنود والكاثود صغيرًا بما يكفي ، سيتم تقسيم الغاز بين القطبين ، مما يشكل تيارًا قوسًا ، وهو ما يشبه القوس الذي ينظر إلى اللحام الكهربائي. في هذا الوقت ، يتأين جزء من N2 لتشكيل الكاتيونات والإلكترونات النيتروجينية.

تنجذب كاتيون النيتروجين ، الذي ينجذب إلى قوة الميدان الكهربائي ، إلى الكاثود بالقرب من الهدف ، وسوف يطير الإلكترون إلى إبرة الإشعال القوس. ومع ذلك ، فإن كتلة أيون أكبر بكثير من كتلة الإلكترون. لذلك ، تحت نفس القوة المجال الكهربائي ، ستكون مسافة حركة الإلكترون أكبر من تلك الموجودة في الكاتيون. لذلك ، عندما يصل الإلكترون إلى الأنود ، لن يصل أيون إلى هدف الكاثود ، ولكنه سوف يطير إلى إبرة الإشعال القوس ، تتشكل طبقة تراكم الأيونات الإيجابية بالقرب من السطح المستهدف.

المسافة بين الكاتيون وسطح الهدف الكاثود صغير جدًا ، حتى مستوى الميكرون. وفقًا لـ E = u / d ، يمكن ملاحظة أن المجال الكهربائي في المساحة مرتفع في هذا الوقت ، والذي سيؤدي إلى "سحب" الإلكترونات من الهدف. تطير الإلكترونات "المسحوبة" من هدف الكاثود إلى طبقة تراكم الأيونات الإيجابية ، وتشكيل تيار. يتم توصيل طبقة التراص بسطح الهدف ، ويتم إنشاء قوس بالقرب من السطح المستهدف.

في الوقت نفسه ، سيتم جذب الأيونات الإيجابية بواسطة سطح الكاثود المستهدف ، مما يجعل الأيونات الإيجابية قصف السطح المستهدف وتنتج الضيق. نظرًا لأن جزيئات الفيلم إما تبخر أو تتدفق إلى المرور عبر طبقة تراكم الأيونات الإيجابية ، وفي عملية الطيران من سطح المستهدف الكاثود ، ستتأثر جزيئات الفيلم بالقوس على السطح المستهدف ، لذا فإن الجسيمات التي تصل إلى قطعة العمل هي الحالة الأيونية.

عادةً ما يتم تطبيق الجهد التحيز السلبي على قطعة العمل ، وبالتالي فإن الأيونات الإيجابية تطير إلى قطعة العمل تحت عمل قوة المجال الكهربائي ، وقصف قطعة العمل مصنعو آلة طلاء DLC . سيؤدي هذا القصف إلى تحسين التصاق الفيلم ويجعل الاحتكاك كثيفًا ، وهو مفيد للغاية لتحسين جودة الفيلم.

إذا كنت تريد معرفة المزيد ، يمكنك أيضًا الاتصال بنا.

Ningbo Danko Vacuum Technology Co. ، Ltd.

سارة

الهاتف: 86-15867869979

البريد الإلكتروني: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979