ما هو مبدأ عمل الطلاء الأيوني للقوس الكاثودي؟

بادئ ذي بدء ، فإن إبرة ضرب القوس (الأنود) ذات الإمكانات الإيجابية قريبة من الهدف (الكاثود) ذات الإمكانات السلبية. عندما تكون المسافة بين الأنود والكاثود صغيرة بدرجة كافية ، فإن الغاز الموجود بين القطبين سوف ينهار ، مكونًا تيارًا قوسيًا مشابهًا لضرب اللحام الكهربائي بالقوس. في هذا الوقت ، يتأين جزء من N2 لتكوين كاتيونات النيتروجين والإلكترونات.

تجذب النيتروجين بقوة المجال الكهربائي ، وسوف يطير النيتروجين إلى الكاثود بالقرب من الهدف ، وسيطير الإلكترون إلى إبرة الاشتعال القوسي. ومع ذلك ، فإن كتلة الأيون أكبر بكثير من كتلة الإلكترون. لذلك ، تحت نفس قوة المجال الكهربائي ، ستكون مسافة حركة الإلكترون أكبر من مسافة الكاتيون. لذلك ، عندما يصل الإلكترون إلى القطب الموجب ، لن يصل الأيون إلى هدف الكاثود ، ولكنه سيطير إلى إبرة الإشعال القوسي. وتتشكل طبقة تراكم الأيونات الموجبة بالقرب من السطح المستهدف.

المسافة بين الكاتيون والسطح المستهدف للكاثود صغيرة جدًا ، حتى مستوى الميكرون. وفقًا لـ e = u / D ، يمكن ملاحظة أن المجال الكهربائي في الفضاء مرتفع للغاية في هذا الوقت ، مما يؤدي إلى "سحب" الإلكترونات من الهدف. تطير الإلكترونات "المسحوبة" من هدف الكاثود إلى طبقة تراكم الأيونات الموجبة ، مكونة تيارًا. ترتبط طبقة التراص بالسطح المستهدف ، ويتم إنشاء قوس بالقرب من السطح المستهدف.

في نفس الوقت ، سيتم جذب الأيونات الموجبة من خلال سطح هدف الكاثود ، مما يجعل الأيونات الموجبة تقصف السطح المستهدف وتنتج تطايرًا. نظرًا لأن جزيئات الفيلم إما تبخرت أو متناثرة تحتاج إلى المرور عبر طبقة تراكم الأيونات الموجبة ، وفي عملية الطيران بعيدًا عن سطح هدف الكاثود ، ستتأثر جسيمات الفيلم بالقوس عند السطح المستهدف ، لذا فإن معظم الجسيمات الوصول إلى الشغل هي الحالة الأيونية.

عادةً ما يتم تطبيق جهد التحيز السالب على قطعة العمل ، لذلك تطير الأيونات الموجبة إلى قطعة العمل تحت تأثير قوة المجال الكهربائي ، وتقصف قطعة العمل مصنعي آلة طلاء DLC . سيؤدي هذا القصف إلى تحسين التصاق الفيلم وجعل الاحتكاك كثيفًا ، وهو أمر مفيد جدًا لتحسين جودة الفيلم.

إذا كنت تريد معرفة المزيد ، يمكنك أيضًا الاتصال بنا.

نينغبو DANKO VACUUM TECHNOLOGY CO.، LTD.

سارا

هاتف: 86-15867869979

بريد إلكتروني: [email protected]

Wechat: 15867869979

ال WhatsApp: 86-15867869979