ما هي العوامل التي تؤثر- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

ما هي العوامل التي تؤثر

أولاً ، تشكيل المركبات المعدنية المستهدفة

في عملية تكوين المركب من سطح الهدف المعدني من خلال عملية التلاشي التفاعلي ، أين يتكون المركب؟ نظرًا لأن جزيئات الغاز التفاعلية تصطدم بالذرات الموجودة على السطح المستهدف لتوليد تفاعل كيميائي لتوليد ذرات مركبة ، وعادة ما يكون التفاعل الطارد للحرارة ، فإن التفاعل يولد الحرارة يجب أن يكون هناك وسيلة للاتصال ، وإلا فإن التفاعل الكيميائي لا يمكن أن يستمر. انتقال الحرارة بين الغازات مستحيل تحت فراغ ، لذلك يجب أن تحدث التفاعلات الكيميائية على سطح صلب. يتم تنفيذ منتجات الثرثرة التفاعلية على الأسطح المستهدفة ، وأسطح الركيزة ، وغيرها من الأسطح المهيكلة. توليد مركبات على سطح الركيزة هو هدفنا. إن توليد المركبات على الأسطح الأخرى هي مضيعة للموارد. كان إنشاء مركبات على السطح المستهدف في البداية مصدرًا للذرات المركبة ، ولكن أصبح فيما بعد عقبة أمام توفير المزيد من الذرات المركبة.

ثانياً ، العوامل المؤثرة للتسمم المستهدف

العامل الرئيسي الذي يؤثر على التسمم المستهدف هو نسبة الغاز التفاعلي إلى الغاز. سيؤدي الغاز التفاعلي المفرط إلى التسمم المستهدف. أثناء عملية التلاشي التفاعلي ، تتم تغطية منطقة قناة التلاشي على السطح المستهدف بواسطة منتج التفاعل لمنتج التفاعل لإعادة تعريض سطح المعادن. إذا كان معدل تكوين المركب أكبر من المعدل الذي يتم فيه تجريد المركب ، تزداد المساحة التي تغطيها المركب. في حالة وجود قوة معينة ، يزداد مقدار غاز التفاعل المشارك في تكوين المركب ، ويزيد معدل تكوين المركب. إذا زادت كمية الغاز التفاعلي بشكل مفرط ، تزداد المساحة المغطاة بالمركب. إذا كان لا يمكن ضبط معدل تدفق الغاز التفاعلي في الوقت المناسب ، فلا يمكن قمع معدل الزيادة في المساحة التي يغطيها المركب ، وسيتم تغطية القناة المدمجة بشكل أكبر. عندما يتم تغطية الهدف المدمر بالكامل بواسطة المركب عندما يتم تسمم الهدف تمامًا.

ثالثًا ، ظاهرة التسمم المستهدف

(1) تراكم الأيونات الإيجابية: عندما يتم تسمم الهدف ، يتم تشكيل فيلم عزل على السطح المستهدف. عندما تصل الأيونات الإيجابية إلى سطح المستهدف الكاثود ، نظرًا لحظر الطبقة العازلة ، لا يمكنها الدخول مباشرة إلى سطح المستهدف الكاثود ولكن يتراكم على السطح المستهدف ، وهو عرضة للحقل البارد. تفريغ القوس - ضربات القوس التي تمنع الثرثرة من المتابعة.

(2) يختفي الأنود: عندما يتم تسمم الهدف ، يتم إيداع فيلم عزل أيضًا على جدار غرفة الفراغ المؤسسة ، ولا يمكن للإلكترونات التي تصل إلى الأنود أن تدخل الأنود ، مما يؤدي إلى اختفاء الأنود.

رابعًا ، التفسير الجسدي للتسمم المستهدف

(1) بشكل عام ، يكون معامل انبعاث الإلكترون الثانوي للمركبات المعدنية أعلى من معامل المعادن. بعد تسمم الهدف ، يتم تغطية سطح الهدف بمركبات معدنية. بعد قصف أيونات ، يزداد عدد الإلكترونات الثانوية التي تم إصدارها ، مما يحسن كفاءة المساحة. الموصلية ، وتقليل مقاومة البلازما ، مما يؤدي إلى انخفاض جهد الثرثرة. وبالتالي ، يتم تقليل معدل الضعف. بشكل عام ، يتراوح الجهد المتدحرج من الدماغ المغناطيسي بين 400 فولت و 600 فولت. عند حدوث التسمم المستهدف ، سيتم تقليل جهد الضيق بشكل كبير.

(2) معدل الضعف الهدف المعدني والهدف المركب مختلف. بشكل عام ، يكون معامل الضعف للمعادن أعلى من معامل المركب ، وبالتالي فإن معدل الثرثرة منخفض بعد تسمم الهدف.

(3) تكون كفاءة التآكل لغاز الثرثرة التفاعلية أقل بطبيعتها من الغاز الخامل ، لذلك عندما تزداد نسبة الغاز التفاعلي ، ينخفض معدل الثرثرة الإجمالية.

الخامس ، الحل لاستهداف التسمم

(1) استخدم مصدر طاقة تواتر متوسطة أو مصدر طاقة لتردد الراديو.

(2) يتم اعتماد التحكم في الحلقة المغلقة في تدفق غاز التفاعل.

(3) استخدام الأهداف التوأم

(4) التحكم في تغيير وضع الطلاء: قبل طلاء ، اجمع منحنى تأثير التباطؤ للتسمم المستهدف ، بحيث يتم التحكم في تدفق الهواء المدخول في مقدمة التسمم المستهدف ، وذلك لضمان أن تكون العملية دائمًا في الوضع قبل انخفاض معدل الترسيب بشكل حاد .