ما هي الإجراءات المضادة لتحسين التفاعلات العكسية لطلاء الفراغ؟

تحسين الإستراتيجية:

تقوية إزالة الشحوم وإزالة التلوث. إذا كان التنظيف بالموجات فوق الصوتية ، فيجب التركيز على وظيفة إزالة الشحوم وضمان فعالية محلول إزالة الشحوم ؛ إذا تم مسحه يدويًا ، ففكر أولاً في المسح بمسحوق كربونات الكالسيوم ثم المسح.

تقوية الخبز قبل الطلاء. إذا سمحت الظروف ، فمن الأفضل أن تصل درجة حرارة الركيزة إلى 300 درجة مئوية أو أكثر ، ويجب أن تكون درجة الحرارة الثابتة أكثر من 20 دقيقة لجعل بخار الماء وبخار الزيت على سطح الركيزة يتطاير قدر الإمكان. * ملاحظة: كلما ارتفعت درجة الحرارة ، زادت قدرة امتصاص الركيزة ، كما أنه من السهل أيضًا امتصاص الغبار. لذلك ، يجب تحسين نظافة غرفة التفريغ. خلاف ذلك ، سوف يلتصق الغبار بالركيزة قبل الطلاء ، مما سيؤثر على قوة الفيلم بالإضافة إلى العيوب الأخرى. (درجة حرارة الامتصاص الكيميائي لبخار الماء على الركيزة في الفراغ أعلى من 260 درجة مئوية). ومع ذلك ، لا تحتاج جميع الأجزاء إلى التحميص في درجة حرارة عالية ، وبعض مواد النترات لها درجة حرارة عالية ، لكن قوة الفيلم ليست عالية ، وقد تحدث بقع. هذا له علاقة أكبر مع الإجهاد والمطابقة الحرارية للمواد.

عندما تسمح الظروف ، يتم تجهيز الوحدة بمكثف (PLOYCOLD) ، والذي لا يمكنه فقط زيادة سرعة ضخ الفراغ للوحدة ، بل يساعد أيضًا في إزالة بخار الماء والزيت والغاز من الركيزة.

زيادة درجة الفراغ من التبخر. بالنسبة لآلة الطلاء التي يزيد ارتفاعها عن متر واحد ، يجب أن يكون فراغ بدء التبخر أعلى من 3 * 10-3Pa. كلما كبرت آلة الطلاء ، زاد فراغ بدء التبخر.

عندما يكون ذلك ممكنًا ، يتم تجهيز الوحدة بمصدر أيوني ، يتم قصفها قبل الطلاء ، وتنظيف سطح الركيزة ، وتساعد عملية الطلاء ، مما يؤدي إلى انضغاط الفيلم وثباته.

لإزالة الرطوبة من مادة الغشاء ، ضع مادة الغشاء المراد استخدامها في طبق بتري في حجرة مفرغة للتجفيف.

حافظ على بيئة العمل جافة (بما في ذلك مسح العدسة ومنطقة عمل المظلة) ، ولا تجلب الكثير من بخار الماء عند تنظيف بيئة العمل.

بالنسبة للأفلام متعددة الطبقات ، عند تصميم نظام الفيلم ، من الضروري مراعاة مطابقة الفيلم الأول والركيزة ، والنظر في استخدام مادة فيلم Al2O3 قدر الإمكان ، والتي تتمتع بقوة امتصاص جيدة لمعظم الركائز. بالنسبة للأفلام المعدنية ، يمكن أيضًا النظر في الطبقة الأولى من طلاء سبائك Cr أو Cr. تتمتع سبائك الكروم أو الكروم أيضًا بقدرة امتصاص أفضل للركيزة.

استخدم سائل التلميع (سائل التلميع) لإعادة تأهيل وإزالة الطبقة المتآكلة (الطبقة المتحللة بالماء) على سطح العدسة

في بعض الأحيان يكون التخفيض المناسب لمعدل التبخر مفيدًا في زيادة قوة الفيلم وله معنى إيجابي في تحسين نعومة سطح الفيلم.

ضغوط الفيلم:

عملية تشكيل الفيلم الرقيق هي عملية تحويل لشكل المادة. من المحتم أن يكون هناك ضغط في طبقة الفيلم بعد تشكيل الفيلم. بالنسبة للأفلام متعددة الطبقات ، توجد مجموعات من مواد مختلفة للفيلم ، والضغوط التي تنعكس في كل طبقة فيلم. وهناك اختلافات ، بعضها إجهاد شد ، وبعضها إجهاد انضغاطي ، وهناك ضغوط حرارية للفيلم والركيزة.

إن وجود التوتر يضر بقوة الفيلم. يعني الأخف وزنا أن الفيلم لا يتحمل الاحتكاك ، ويتسبب الفيلم الثقيل في حدوث تشققات أو شبكات رفيعة في الفيلم.

بالنسبة للأفلام المضادة للانعكاس ، يكون الضغط غير واضح بشكل عام بسبب قلة عدد الطبقات. (ومع ذلك ، فإن بعض عدسات النترات تعاني من مشاكل إجهاد حتى لو كانت عبارة عن أغشية مضادة للانعكاس.) بالنسبة للأفلام ذات الانعكاس العالي وأغشية الترشيح ذات الطبقات الأكثر ، فإن الضغط هو عامل شائع غير مرغوب فيه ينبغي إيلاء اهتمام خاص له.

تحسين الإستراتيجية:

خبز بعد الطلاء. بعد أن يتم طلاء الطبقة الأخيرة من الفيلم ، لا تتوقف عن الخبز على الفور ، واستمر في "التقسية" لمدة 10 دقائق. اجعل هيكل الفيلم أكثر استقرارًا.

يتم تمديد وقت التبريد بشكل مناسب ، والتلدين يتقادم. تقليل الإجهاد الحراري الناجم عن اختلاف درجات الحرارة المفرط بين داخل وخارج غرفة التفريغ.

بالنسبة للأفلام ذات الانعكاس العالي ، وأغشية الترشيح ، وما إلى ذلك ، أثناء عملية التبخر ، يجب ألا تكون درجة حرارة الركيزة عالية جدًا ، حيث من المحتمل أن تسبب درجات الحرارة المرتفعة إجهادًا حراريًا. وله تأثير سلبي على الاستقرار البصري لمواد الأفلام مثل أكسيد التيتانيوم وأكسيد التنتالوم.

تساعد الأيونات في عملية الطلاء لتقليل الإجهاد.

اختر نظام الفيلم المناسب للمطابقة ، والطبقة الأولى من مادة الفيلم ومطابقة الركيزة. (على سبيل المثال ، يستخدم الفيلم المضاد للانعكاس المكون من خمس طبقات Al2O3-ZrO2-Al2O3-Al2O3-ZrO2-MgF2 ؛ يمكن لـ ZrO2 أيضًا استخدام SV-5 (مادة فيلم مختلطة ZrO2 TiO2) أو مواد أخرى مختلطة ذات معامل انكسار عالي.

تقليل معدل التبخر بشكل مناسب (Al2O3-2.5A / S ؛ ZrO2-3A / S ؛ المعدل المرجعي MgF2-6A / S)

يتم تنفيذ طلاء تفاعل ملء الأكسجين على جميع مواد فيلم الأكسيد ، ويتم التحكم في معدل امتصاص غاز الأكسجين وفقًا لمواد الفيلم المختلفة.

صلابة السطح للفيلم الخارجي:

يستخدم الفيلم المضاد للانعكاس بشكل عام MgF2 كطبقة خارجية. المقطع العرضي للفيلم عبارة عن هيكل عمودي فضفاض نسبيًا ، وصلابة السطح ليست عالية ، لذلك من السهل مسح الطريق.

تحسين الإستراتيجية:

عندما يسمح تصميم نظام الفيلم ، أضف حوالي 10 نانومتر من SiO2 إلى الطبقة الخارجية ، وتكون نعومة سطح ثاني أكسيد السيليكون أفضل من تلك الموجودة في فلوريد المغنيسيوم (لكن مقاومة التآكل وصلابة ثاني أكسيد السيليكون ليست جيدة مثل فلوريد المغنيسيوم). بعد بضع دقائق من القصف الأيوني بعد الطلاء ، سيكون تأثير الصلابة أفضل. (لكن السطح سيصبح أكثر سمكًا)

بعد أن تغادر العدسة حجرة التفريغ ، ضعها في مكان جاف ونظيف لمنع امتصاص الرطوبة السريع وتقليل صلابة السطح.

آخر

أسباب ضعف قوة الفيلم تشمل الفراغ المنخفض (عرضة للحدوث في الآلات التي يتم التحكم فيها يدويًا) ، وحجرة التفريغ المتسخة ، والتدفئة غير الكافية للركيزة.

عندما يتم ملء الغاز الإضافي ، فإن مادة الغشاء تطلق الغازات أيضًا ، مما يقلل من درجة الفراغ ، ويقلل من المسار الحر الجزيئي ، ولا تكون طبقة الغشاء قوية. لذلك ، يجب أن يأخذ ملء الغاز الإضافي في الاعتبار تفريغ مادة الفيلم ، ويتم ذوبان مادة الفيلم بالكامل مسبقًا وتفريغ الغاز بالكامل قبل الطلاء ، مما يمكن أيضًا تجنب الانخفاض المفرط لدرجة الفراغ بسبب تفريغ الفيلم المواد أثناء التبخر ، مما يؤثر على قوة الفيلم.

اخلع الفيلم

على الرغم من أن إصدار الفيلم هنا هو أيضًا نوع من الأفلام الضعيفة ، إلا أنه يحتوي على بعض الاختلافات عن إصدار الفيلم السابق. الميزات الرئيسية هي: تحرير النقطة ، تحرير الحافة ، والتحرير الجزئي.

السبب الرئيسي هو وجود الأوساخ أو الملوثات في الغشاء.

طريقة التحسين: تحسين نظافة الركيزة.