المبدأ الهيكلي لآلة طلاء الفراغ

تعد آلة الغشاء حاليًا أكثر المعدات استخدامًا لصنع ظروف الفراغ. المكونات والمكونات ذات الصلة: مضخة ميكانيكية ، مضخة معززة ، مضخة نشر الزيت ، مضخة التكثيف ، نظام قياس الفراغ.
تحتوي غرف فراغ الجسم الفراغية على متطلبات مختلفة وفقًا للمنتجات المصنعة ، كما يختلف حجم غرفة التفريغ أيضًا. في الوقت الحاضر ، الأكثر استخدامًا هي 1.3 م ، 0.9 م ، 1.5 م ، 1.8 م ، إلخ. الغرفة مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ ، والمتطلبات صدئة ، صلبة ، وما إلى ذلك ، هناك صمامات توصيل في كل جزء من الفراغ غرفة ، والتي تستخدم لربط كل مضخة شفط. آلة طلاء الفراغ

مقسمة بشكل رئيسي إلى 4 أجزاء ، وحدة تفريغ ، صندوق تفريغ ، نظام تبخير ، نظام تحكم.
يمكن تقسيم الوحدة إلى: فراغ منخفض ، فراغ عالي ، وحدة مضخة جذور ، وحدة مضخة نشر ، وحدة مضخة جزيئية ، وحدة مضخة تجميد ، إلخ.
ينقسم التبخر إلى: تبخر شعاع الإلكترون ، تبخر تسخين المقاومة ، تبخر رش المغنطرون ، تبخر متعدد القوس