ميزات أنظمة الثرثرة في الخط

إن نظام التلاشي "داخل الخط" هو نظام تمر فيه الركائز خطيًا تحت كاثودات أو أكثر من الكاثودات للوقوع لاكتساب طلاء أفلامها الرفيع. عادةً ما يتم تحميل الركائز على شركة طيران أو منصة من أجل تسهيل هذه الحركة ، وبعض الأنظمة الأصغر تتعامل مع لوح واحد فقط لكل مجموعة. قد يكون لدى الأنظمة الأكبر قدرة على التعامل مع منصات متعددة من خلال استخدام معالجات البليت النهائية التي ترسل وتتلقى لوحًا واحدًا تلو الآخر في قافلة مستمرة تمر عبر النظام الفرعي للنقل ، وهو طرف كل ما يلي خلف ذيل السابق.

التكوين الشائع والأقل تعقيدًا هو أن يكون لديه المنصات والكاثودات الأفقية مع الكاثودات في الأعلى والركائز في الأسفل في اتجاه أسفل الضيق. في هذا الوضع ، عادة ما تكون الجاذبية هي الشيء الوحيد الذي يحمل الركائز على المنصات ، وأيضًا الشيء الوحيد الذي يحمل المنصات على آلية النقل ، والتي يمكن أن تكون فقط سلاسل تسير على طول القضبان بجانب غرفة الفراغ.

يمكن أيضًا إجراء هذا الترتيب الأفقي مع الكاثودات في القاع والركائز الموجودة في الأعلى لتوجيه الضيق ، ولكن من الواضح أن هذا يعقد الأدوات إلى حد ما ، ويتطلب الآن وسائل ميكانيكية للحفاظ على الركائز في مكانها حتى لا تسقط. بالنسبة للطلاء المفرد ، هذا ليس تكوينًا شائعًا جدًا ، ولكن يتم في بعض الأحيان للطلاء المزدوج ، مع الكاثودات فوق وأسفل المنصات. تحتوي المنصات في هذه الحالة على فتحات مناسبة للاحتفاظ بالركائز بحيث يمكن للجوانب السفلية الحصول على الطلاء من الكاثود السفلي في نفس الوقت يحصل الجانب العلوي على طلاء الضيق من الكاثود العلوي.

لكن الأفقي له عيب من حيث الجسيمات. في وضع الضيق لأسفل ، يمكن للجزيئات التي يتم إنشاؤها داخل الغرفة الهبوط بسهولة على الركائز وتضمينها في الفيلم - والتي لا بد من حدوثها. أنظمة الترسيب تلوث إلى حد ما مع المواد الحصول على أماكن أخرى غير فقط على الركائز. أكبر مشكلة في الصيانة الروتينية هي الحفاظ على نظافة الأمور. في اتجاه التهدئة ، لا تحصل هذه الجسيمات على الركائز ، ولكن يمكن أن تهبط على الأهداف ويتم إعادة عرضها. ورقة طبقة من الألومنيوم أفلام رقيقة من الألومنيوم

لذلك بالنسبة لبيئة جسيمية أفضل ، هناك أيضًا خيار الاتجاه الرأسي للتخلق الجانبي. كل من الكاثودات والمنصات عمودية ، والترسب جانبي. يصبح نظام الأدوات والنقل أكثر تعقيدًا إلى حد كبير للحفاظ على الركائز على البليت وكذلك التعامل مع البليت في هذا الاتجاه ، ولكن الجسيمات أقل عرضة للسقوط على الكاثود أو الركيزة.

في أي من هذه التكوينات ، يمكن استخدام جميع أنواع الكاثودات المختلفة ، حيث تكون المغنطيسية عمومًا هي الشائعة ، إما مستوية أو أقحم. ويمكن أن تكون الطاقة أيًا من الأنواع المختلفة المتاحة مثل RF أو MFAC أو DC أو DC النبضي كما هو مطلوب للتطبيق. يمكن أيضًا استيعاب المراحل الاختيارية مثل حفر الضيق أو مصادر الحرارة أو أيون ، وتتوفر مجموعة كاملة من الأجهزة والضوابط للطلاء المعدني/الموصل أو العزل أو الطلاء البصري أو تطبيقات البشرة الأخرى.

على الرغم من أنه من الممكن استخدام أنواع أخرى ، إلا أن الكاثودات في مثل هذه الأنظمة مستطيلة. كقاعدة عامة ، يكون المحور الطويل للكاثود المستطيل عبر الغرفة والمحور القصير على طول اتجاه سفر البليت. وعلى الرغم من أنه من الممكن تكوين الكاثودات للطلاء غير الموحد عن قصد ، فإن الغالبية العظمى من المستخدمين تريد أن تكون ركائزهم مغلفة بشكل موحد. في نظام في الخط كما نناقش ، يعتمد التوحيد في اتجاه السفر على ثبات قدرة الكاثود وضغط الغرفة/الغاز ، إلى جانب استقرار سرعة النقل ، وأخيراً مواقع البدء/الإيقاف أمام منطقة الترسب وخلفها.

بالنسبة للبليت الوحيد ، أو للبليت الأخير في طرف لتوظيفه ، يجب أن يكون موضع البداية (وكذلك موضع التوقف) بعيدًا بما فيه الكفاية من الهدف مباشرة لتجنب تراكم الترسب غير المخطط له خلال أي فترة تثبيت ما قبل الابتكار ، قبل بدء المسح. يجب أن تحدث أي بدايات أو توقف أو انعكاسات لاتجاه المسح الضوئي خارج منطقة الترسيب الفعلي ويجب أن يكون الفحص ثابتًا وغير متوقف من خلال منطقة الترسب. يمكن أن تكون عمليات المسح ممرًا واحدًا في أي من الاتجاهين ، أو يمكن أن تكون ذهابًا وإيابًا لتربية الطلاءات الأكثر سمكًا.

ثلاثة وأربعة أنظمة مستهدفة شائعة جدًا ، ويمكن زيادة طول الغرفة لاستيعاب مصادر إضافية كما هو مطلوب. مع ما يكفي من إمدادات الطاقة ، يمكن استخدام أهداف متعددة في وقت واحد في ممر واحد. مع وجود مواد مستهدفة مختلفة على الكاثودات ، يمكن بالتالي إيداع طبقات متعددة في ممر واحد ، أو مع أهداف مكررة ، يمكن تحقيق الطلاءات السميكة في ممر واحد.

يتم تحديد التوحيد في المحور الآخر ، عموديًا على اتجاه مسح البليت ، من خلال أداء الكاثود ، بما في ذلك ، وخاصة بالنسبة للتفاعل التفاعلي ، مشكلات توزيع الغاز المحتملة. مع Magnetrons ، يمكن أن يؤثر وضع وقوة المغناطيس على كل من استخدام الهدف والتوحيد المتأصل ، وعادة ما يكون هناك تبادل بين هذين الجانبين. على طول مركز طول الهدف ، يكون التوحيد واستخدامه جيدًا عادةً ، ولكن في النهايات ، حيث يتحول مسار تآكل "سباق السباق" ، فإن معدل الترسيب وسمك الأفلام الناتج سوف ينخفض ​​إلى ما لم يتم ضبط المغناطيس على التعويض ، ولكن إذا تم إجراء قناة التآكل بشكل أعمق هناك ، فإن ذلك يقلل من الاستخدام المستهدف. لوحة الدعم).

إن المعالجة إلى الذيل في أنظمة البليت المتعددة الأكبر مفيدة أيضًا لاستخدام المواد المستهدفة من حيث الحصول على المزيد على ركائزك وأقل على الدروع وأجزاء الغرفة الأخرى. في نظام لوح واحد واحد ، يكون البليت الرصاص هو البليت الوحيد ، وبينما يترك منطقة الترسب ، يجب أن تستمر في المسح حتى يكون الحافة الخلفية - الذيل - مخرجًا ، مع استمرار الهدف في حرق الوقت بالكامل ، والذي يضيع فعليًا بعض المواد المستهدفة.

في نهج Tip to Tail ، لا يوجد سوى فجوة قصيرة بين ذيل واحد والطرف التالي ، ثم يتم تشغيل المواد مرة أخرى إلى منصة "حية" مليئة بالركائز ، مع دخول البليت الجديد مع خروج البليت من منطقة الترسيب ، هناك العديد من المتغيرات التي يمكن أن تؤثر على هذا الرقم ، ولكن كقاعدة عامة ، يمكن أن تكون الطرف لنهج الذيل ما يقرب من مرتين في استخدام المادة.

في الطرف العالي من التنوع ، يمكن أن تتيح إضافة صمامات SLIT لعزل أقسام العمليات ، إلى جانب التحكم في الأتمتة المتطورة ، أن تدير أقسامًا مختلفة في وقت واحد مع بيئات غاز مختلفة (الضغط وخليط الغاز) على أساس مباشر من البليتات في القسم الأول ، بينما في وقت واحد يتوقف على طبقة مختلفة على اللوحة الأخرى. يمكن تخصيص أنظمة الضيق داخل الخط لاستيعاب مجموعة واسعة من متطلبات العملية وأحجام الركيزة .