آلة طلاء فراغ التبخر والمبدأ المادي- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

آلة طلاء فراغ التبخر والمبدأ المادي

التبخر آلة طلاء فراغ يتكون بشكل أساسي من غرفة طلاء فراغ ونظام ضخ فراغ. هناك مصادر التبخر (أي سخانات التبخر) ، ركائز وحاملي الركيزة ، قضبان الإلكترود ، إمدادات الطاقة ، البوتقة ، سخانات الركيزة ، أنظمة العادم ، إلخ في غرفة الفراغ.

يتم وضع مادة الطلاء في مصدر التبخر في غرفة الفراغ. في ظل ظروف فراغ عالية ، يتم تسخين مصدر التبخر لتبخره. عندما يكون المسار الحر المتوسط لجزيئات البخار أكبر من الحجم الخطي لغرفة الفراغ ، فإن ذرات وجزيئات بخار الفيلم ستتبخر من مصدر التبخر. بعد هروب سطح المصدر ، نادراً ما يتم تصادمه ويعوقه بواسطة جزيئات أو ذرات أخرى ، ويمكن أن تصل مباشرة إلى سطح الركيزة ليتم مطليها. بسبب انخفاض درجة حرارة الركيزة ، تكثف جزيئات البخار في مواد الفيلم عليها لتشكيل فيلم.

من أجل تحسين الالتصاق بين الجزيئات المتبعة والركيزة ، يمكن تنشيط الركيزة عن طريق التدفئة المناسبة أو تنظيف الأيونات. العملية المادية لطلاء التبخر الفراغي من تبخر المواد والنقل إلى الترسب وتشكيل الأفلام هي كما يلي:

1. استخدم طرقًا مختلفة لتحويل أشكال الطاقة الأخرى إلى طاقة حرارة ، وتسخين مادة الفيلم للتبخر أو السامية ، وتصبح جزيئات غازية (ذرات ، جزيئات أو مجموعات ذرية) مع طاقة معينة (0.1 ~ 0.3ev):

2. الجزيئات الغازية تترك سطح مادة الغشاء ويتم نقلها إلى سطح الركيزة في خط مستقيم مع سرعة حركة كبيرة دون تصادم ؛

3. الجسيمات الغازية التي تصل إلى سطح تكثيف الركيزة والنووية وتنمو لتصبح فيلمًا صلبًا ؛

4. يتم إعادة تنظيم الذرات التي تشكل الفيلم وترتيبها أو المستعبدين كيميائيًا .