تحليل تكنولوجيا طلاء التبخر المشتركة- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

تحليل تكنولوجيا طلاء التبخر المشتركة

1. طلاء تبخر المقاومة: يتم استخدام مصدر تبخر المقاومة لتبخر مواد نقطة انصهار منخفضة ، مثل الذهب والفضة وكبريتيد الزنك وفلوريد المغنيسيوم وثلاثي أكسيد الكروم ، إلخ.

2. شعاع الإلكترون تبخر الطلاء : بعد تبخير مادة الفيلم وتبخرها عن طريق تسخين شعاع الإلكترون ، يتم تكثيفه على سطح الركيزة لتشكيل فيلم ، وهو طريقة تسخين مهمة في تكنولوجيا التبخر الفراغ.

هناك العديد من أنواع هذه الأجهزة. من خلال التطبيق الواسع لتكنولوجيا الأفلام الرقيقة ، ليس فقط متطلبات أنواع الأغشية مختلفة ، ولكن أيضًا متطلبات جودة الأغشية أكثر صرامة.

لم يعد بإمكان تبخر المقاومة تلبية احتياجات تبخر بعض المعادن وغير المعادن. يمكن لمصدر حرارة شعاع الإلكترون الحصول على كثافة طاقة أكبر بكثير من مصدر حرارة المقاومة ، ويمكن أن تصل القيمة إلى 104-109W/CM2 ، بحيث يمكن تسخين الفيلم إلى 3000-6000C.

يوفر هذا مصدرًا أفضل للحرارة لتبخر المعادن الحرارية والمواد غير المعدنية مثل التنغستن ، الموليبدينوم ، الجرمانيوم ، SiO2 ، AI2O3 ، إلخ.

بالإضافة إلى ذلك ، يمكن إضافة الحرارة مباشرة إلى سطح مادة الفيلم ، وبالتالي فإن الكفاءة الحرارية عالية ، وتوصيل الحرارة وخسائر الإشعاع الحراري صغير.

3. طلاء تبخر التدفئة القوس: طريقة تسخين مماثلة لطريقة تسخين شعاع الإلكترون هي طريقة تسخين تصريف القوس. كما أن لديها خصائص تجنب تلوث مواد التدفئة المقاومة أو المواد بوتقة ، ولها خصائص درجة حرارة التدفئة العالية ، وخاصة مناسبة لتبخر المعادن الحرارية ، الجرافيت ، وما إلى ذلك مع نقطة انصهار عالية وبعض الموصلية.

في الوقت نفسه ، تكون المعدات المستخدمة في هذه الطريقة أبسط من الجهاز الخاص بجهاز تسخين شعاع الإلكترون ، لذلك فهو جهاز تبخر غير مكلف نسبيًا.

4. طلاء تبخر شعاع الليزر: تسمى طريقة استخدام الليزر النبضي الكثافة العالية لتبخر المواد لتشكيل أفلام رقيقة بشكل عام تبخر الليزر

5. طلاء تبخر التدفئة عالي التردد: استخدم مبدأ التسخين الحث لتسخين المعدن إلى درجة حرارة التبخر.

يتم وضع البوتقة التي تحتوي على مادة الفيلم في وسط الملف اللولبي ، ويتم تمرير تيار عالي التردد عبر الملف ، بحيث يمكن أن تولد مادة الفيلم المعدني التيار لتسخين نفسه حتى يتبخر.

ميزات تبخر التدفئة التعريفي مصدر:

1. معدل التبخر العالي

2. درجة حرارة مصدر التبخر موحدة ومستقرة ، وليس من السهل إنتاج ظاهرة دفقة قطرة الألومنيوم

3. يتم شحن مصدر التبخر في وقت واحد ، لا يلزم وجود آلية تغذية الأسلاك ، والتحكم في درجة الحرارة سهلة نسبيًا ، والعملية بسيطة

4. متطلبات نقاء المواد الغشائية أوسع قليلاً.

آلة الطلاء بالتبخر الحراري Machine