ما هو الاخرق التفاعلي؟

الرش هو تقنية شائعة لترسيب البخار الفيزيائي (PVD) الصين آلة طلاء الفراغ فيلم الصلب ، إحدى طرق إنتاج طلاء الأغشية الرقيقة. يستخدم الرش المعياري هدفًا لأي مادة نقية مرغوبة ، وغازًا خاملًا ، عادةً الأرجون.

إذا كانت المادة عنصرًا كيميائيًا نقيًا واحدًا ، فإن الذرات تخرج عن الهدف في هذا الشكل وترسب في هذا الشكل.

ومع ذلك ، من الممكن أيضًا استخدام غاز غير خامل مثل الأكسجين أو النيتروجين إما بدلاً من أو (أكثر شيوعًا) بالإضافة إلى الغاز الخامل (الأرجون). عند القيام بذلك ، يمكن للغاز المتأين غير الخامل أن يتفاعل كيميائيًا مع سحابة بخار المادة المستهدفة وينتج مركبًا جزيئيًا يصبح بعد ذلك الفيلم المترسب. على سبيل المثال ، يمكن أن ينتج هدف السيليكون الذي يتم رشه بشكل تفاعلي بغاز الأكسجين فيلم أكسيد السيليكون ، أو مع غاز النيتروجين يمكن أن ينتج فيلم نيتريد السيليكون.