رش الفراغ

1 المقدمة

عادة ما يشير إلى الاخرق المغنطروني ، الذي ينتمي إلى طريقة الرش عالية السرعة ذات درجات الحرارة المنخفضة. يملأ الغاز الخامل (AR) في فراغ ويضاف تيار مباشر عالي الجهد بين التجويف والهدف المعدني (الكاثود). نظرًا لأن الإلكترون الناتج عن تفريغ التوهج يثير الغاز الخامل لتوليد أيون الأرجون الموجب ، يتحرك الأيون الموجب نحو هدف الكاثود بسرعة عالية ، ويتم تفجير الذرة المستهدفة ، وترسبها على الركيزة البلاستيكية لتشكيل فيلم. الصين تبخر فراغ طلاء آلة المصنعين

2 ، المبدأ

عندما تُستخدم الجسيمات عالية الطاقة (عادةً أيونات موجبة معجلة بواسطة المجال الكهربائي) لقصف السطح الصلب ، فإن الظاهرة المتمثلة في أن الذرات والجزيئات على السطح الصلب تتبادل الطاقة الحركية مع الجسيمات عالية الطاقة المتساقطة تسمى الرش. تحتوي الذرات المتناثرة (أو المجموعات) على كمية معينة من الطاقة ، ويمكن إعادة ترسيبها وتكثيفها على سطح الركيزة الصلبة لتشكيل طبقة رقيقة.

3. متطلبات ضغط الهواء لتفريغ الهواء

يتطلب رش الفراغ ملء الغاز الخامل في حالة الفراغ لتحقيق تفريغ التوهج ، ودرجة الفراغ لهذه العملية في حالة التيار الجزيئي.

4. عملية تدفق

وفقًا لخصائص الركيزة والهدف ، يمكن أيضًا رش الطلاء المتطاير بالفراغ مباشرة بدون برايمر. يمكن إضافة طلاء الرش الفراغي عن طريق ضبط التيار والوقت ، ولكن لا يمكن أن يكون سميكًا جدًا ، والسمك العام هو 0.2 ~ 2um.