مصطلحات الفراغ الشائعة 3

1. نطاقات الفراغ تنقسم منطقة الفراغ تقريبًا على النحو التالي:

با تور

فراغ منخفض: 10 ⁵ ～ 10 ² 760 ～ 1
مكنسة كهربائية متوسطة: 10 ² ～ 10 ^-1 1 10 ^-3

فراغ عالي: 10 ^-1 ～ 10 ^-5 10 ^-3 ～ 10 ^-7

فراغ فائق: <10 ^-5 <10 ^-7

2. غاز ： مواد حرة في شغل أي مساحة ولا تخضع للتفاعلات بين الجزيئات. ملاحظة: في تقنية التفريغ ، لا يتم تطبيق مصطلح "غاز" بشكل صارم على الغازات غير القابلة للتكثيف والبخار.
3. ن ， م -3 عدد كثافة الجزيئات ： في لحظة معينة ، فإن الصين PVD آلة الطلاء الموردين عدد الجزيئات في الحجم حول نقطة في الغاز مقسومًا على هذا الحجم.
4. ι 、 λ ， m يعني المسار الحر المسافة التي يقطعها الجزيء مع الجزيئات الغازية الأخرى كل تصادمين متتاليين تسمى المسار الحر. يُطلق على متوسط ​​عدد لا بأس به من المسارات الحرة المختلفة متوسط ​​المسار الحر