طرق الكشف عن تسرب الفراغ الشائعة

كشف التسرب عن طريق مطياف كتلة الهليوم

هذه التكنولوجيا هي تقنية لا غنى عنها في مجال الكشف عن تسرب الفراغ. يستخدم على نطاق واسع في الكشف عن التسرب بسبب كفاءته العالية في الكشف عن التسرب ، التشغيل السهل ، استجابة الجهاز الحساسة ، الدقة العالية وغير ذلك الصين أنظمة طلاء PVD الموردين تتدخل بسهولة بواسطة الغازات الأخرى. كاشف تسرب مطياف كتلة الهيليوم هو نوع من أدوات الكشف عن ضيق الغاز على أساس مبدأ قياس الطيف الكتلي ، والذي يستخدم الهليوم كمؤشر تسرب الغاز. يتكون من مصدر أيوني ، ومحلل ، ومجمع ، ومقياس تأين الكاثود البارد ، وغرفة قياس طيف الكتلة ، ونظام عادم وجزء كهربائي. تتأرجح الإلكترونات المنبعثة من الفتيل في حجرة قياس الطيف الكتلي ذهابًا وإيابًا في الغرفة وتتصادم مع الغاز الداخلي والهيليوم اللذين يدخلان الغرفة من خلال الفتحة المتسربة للتأين إلى أيونات موجبة. تدخل أيونات الهيليوم المجال المغناطيسي تحت العقول اليمنى واليسرى للمجال الكهربائي المتسارع ، وتنحرف بسبب عمل قوة لورنتز ، وتشكل مدارًا دائريًا قوسًا وتغير المجال الكهربائي المتسارع. يتيح الضغط اكتشاف الأيونات ذات الكتلة المختلفة عن طريق الوصول إلى القطب المستقبِل من خلال الحقول المغناطيسية وفتحات الاستقبال. طريقة حقن الهيليوم وطريقة امتصاص الهليوم هما الطريقتان الأكثر استخدامًا في اكتشاف التسرب لمطياف كتلة الهيليوم.