الطرق الشائعة لتقنية PVD

ترسب الاخرق

الاخرق هو تقنية ترسيب غشاء رقيق مرتبطة بتفريغ توهج الغاز. هناك العديد من طرق الاخرق ، مثل الاخرق الحالي المباشر ، الاخرق الراديوي ، الاخرق التفاعلي. الاخرق المغنطروني ، التردد المتوسط الصين أنظمة طلاء PVD الموردين الاخرق ، الاخرق الحالي المباشر ، الاخرق بالترددات الراديوية و الاخرق الشعاعي الأيوني تستخدم على نطاق واسع.

السمة: يتم تعبئة الغاز الخامل (مثل الأرجون) اللازم للتصريف في غرفة مفرغة. تحت تأثير المجال الكهربائي عالي الجهد ، يتم إنتاج عدد كبير من الأيونات الموجبة عن طريق تأين جزيئات الغاز. عندما يتم تسريع الأيونات المشحونة بواسطة مجال كهربائي قوي ، يتم تكوين تيار أيوني عالي الطاقة لقصف مادة مصدر التبخر (تسمى الهدف). تحت القصف الأيوني ، تترك ذرات مادة مصدر التبخر السطح الصلب وتتطاير على الركيزة بسرعة عالية لترسب أغشية رقيقة.